工作原理是X射線光管發出的初級X射線照射樣品，樣品中原子的內層電子被激發，當外層電子躍遷時產生特征X射線，通過分析樣品中不同元素產生的特征熒光X射線波長（或能量）和強度，可以獲得樣品中的元素組成與含量信息，達到定性定量分析的目的。

　　X射線是一種波長較短的電磁輻射，通常是指能量范圍的光子。X射線與物質的相互作用主要有熒光、吸收和散射三種。

 

　　XRF6能量射線熒光光譜儀的主要特點：

　　1、配置新型濾光片，提高Pb、Cd等的靈敏度提高2倍。

 

　　2、配置高計數率電路，增加檢測器的計數量。

 

　　3、增加時間縮短功能，由熒光X射線強度算出測定精度，自動判斷所需最少測定時間。

 

　　4、增加自動工作曲線選擇功能，依據識別樣品種類的不同而選擇最適宜的工作曲線。

 

　　XRF6能量射線熒光光譜儀高度自動化的分析，省力省時

　　適合原材料、新材料、產品的研究及管理等分析，可對多種樣品進行從微量到高含量的分析僅需約1分鐘即可完成1個樣品中36種元素的定量分析，由于儀器整機的高穩定性充分保證了全自動無人管理分析，可以節省人力與運行費用。配制單道掃描型分光器，可以進行自動定性分析的元素判別，廣泛應用于研究分析。

　　生產流程的管理分析

　　可快速獲得分析結果，經數據處理后，可進行質量檢驗、規格判斷等，應用于生產管理分析（特別是爐前分析）。